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Beschreibung
Diese Dissertation behandelt die Entwicklung eines zweiachsigen vakuum-gekapselten MEMS-Spiegels für den Einsatz in kompakten Laser-Projektions-Displays. Diese Miniatur-Laser-Projektoren sind u.a. von Bedeutung für Head-Up-Displays, Armaturenbrett-Displays und neuartige Scheinwerfer-Systeme im Automobil. Darüber hinaus eignen sie sich durch ihre geringe Baugröße für die Integration in Konsumer-Produkte wie Smartphones, Tabletts, Datenbrillen und Digitalkameras. Mit einer Scanfrequenz von über 36 kHz ermöglichen die im Rahmen dieser Arbeit entwickelten hermetisch gekapselten 2D-MEMS-Spiegel Laser-Video-Projektion mit HD720 Auflösung. Die MEMS-Spiegel werden kostengünstig zu hunderten parallel auf 200 mm Wafern aus Silizium gefertigt und zeichnen sich neben ihrer extrem geringen Baugröße durch eine sehr geringe Leistungsaufnahme aus.
Diese Dissertation behandelt die Entwicklung eines zweiachsigen vakuum-gekapselten MEMS-Spiegels für den Einsatz in kompakten Laser-Projektions-Displays. Diese Miniatur-Laser-Projektoren sind u.a. von Bedeutung für Head-Up-Displays, Armaturenbrett-Displays und neuartige Scheinwerfer-Systeme im Automobil. Darüber hinaus eignen sie sich durch ihre geringe Baugröße für die Integration in Konsumer-Produkte wie Smartphones, Tabletts, Datenbrillen und Digitalkameras. Mit einer Scanfrequenz von über 36 kHz ermöglichen die im Rahmen dieser Arbeit entwickelten hermetisch gekapselten 2D-MEMS-Spiegel Laser-Video-Projektion mit HD720 Auflösung. Die MEMS-Spiegel werden kostengünstig zu hunderten parallel auf 200 mm Wafern aus Silizium gefertigt und zeichnen sich neben ihrer extrem geringen Baugröße durch eine sehr geringe Leistungsaufnahme aus.
Über den Autor
Ulrich Hofmann ist wissenschaftlicher Mitarbeiter des Fraunhofer Instituts für Siliziumtechnologie ISIT in Itzehoe und leitet dort seit 1995 die Entwicklung optischer Mikrosysteme.
Details
Erscheinungsjahr: 2015
Fachbereich: Allgemeines
Genre: Mathematik, Medizin, Naturwissenschaften, Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Taschenbuch
Inhalt: 308 S.
148 farbige Illustr.
ISBN-13: 9783739209197
ISBN-10: 3739209194
Sprache: Deutsch
Einband: Kartoniert / Broschiert
Autor: Hofmann, Ulrich
Auflage: 1. Auflage
Hersteller: Books on Demand GmbH
BoD - Books on Demand
Verantwortliche Person für die EU: BoD - Books on Demand, In de Tarpen 42, D-22848 Norderstedt, info@bod.de
Maße: 210 x 148 x 20 mm
Von/Mit: Ulrich Hofmann
Erscheinungsdatum: 23.11.2015
Gewicht: 0,449 kg
Artikel-ID: 104096064